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双束电镜是什么,和半导体扫描电镜有什么不同

放大字体  缩小字体 发布日期:2022-11-30 01:48:48  浏览次数:1
核心提示:  随着科技的发展进步,越来越多的行业离不开电子显微镜了,不论什么行业的科研工作都离不开电子显微镜。而且近几年国内一直
 

  随着科技的发展进步,越来越多的行业离不开电子显微镜了,不论什么行业的科研工作都离不开电子显微镜。而且近几年国内一直在发力发展半导体行业,半导体器件和集成电路是我们一直在研究的技术,而且电子元件和电路也越来越复杂,尤其是像手机的处理器,很小的空间要塞进去很多器件,这对我们微电子芯片、微纳加工等的要求也是越来越高的。 
  就具有强大的微观分析和微观精细加工的功能,双束电镜也被广泛用于微电子领域和芯片制造领域。双束电镜是同时拥有扫描电子显微镜和聚焦离子束功能的集合仪器,集高分辨率和精细加工的优势于一身,可以实现sem实时观察。我们一般常见的双束电镜系统中,离子束和样品台具有一定的角度,但是电子束是垂直于样品台的,在观察的过程中我们需要把样品台进行旋转,让离子束垂直于样品台,这样就可以进行加工,而且电子束和样品台就会形成一定的夹角,有利于我们进行观察结构。

  但是在材料领域中,半导体扫描电镜技术就有了很大的作用,跟不一样了,扫描电子显微镜是利用扫描电镜可以直接看出来晶体的缺陷和制作的过程,可以直观地观察到金属材料内部的原子结构和表面情况,还可以根据观察条件的不同进行边界移动,这样就可以观察出样品的损伤或者是结构缺陷。 
  双束电镜的成像能力和分析能力都很强,可以满足科研人员的日常研究需求,而且可以自动调节,操作非常方便。图像清晰富有立体感,景深很大,能够直接观察到样品的表面和凹凸不平的切面等,而且样品的制备非常简单。各有各的好处,使用的时候根据需要选择就好了。 
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